搖擺中走絲，這種結(jié)構(gòu)不僅可以作為真空絕對(duì)壓力傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)真空環(huán)境的壓力監(jiān)控，還可以作為微差壓傳感器。硅可動(dòng)極板與下層玻璃間的電容Cd用于檢測(cè)壓力變化。

搖擺中走絲，當(dāng)Cd變化時(shí)，其變化信號(hào)通過(guò)電容/電壓轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化成電壓變化信號(hào)，然后電壓變化信號(hào)通過(guò)放大器變成伺服電壓VS，VS反饋到伺服電極上，對(duì)可動(dòng)極板產(chǎn)生一個(gè)和原始變形方向相反的靜電力FS，使薄膜回到初始位置，這樣就實(shí)現(xiàn)了伺服效果，增大了器件的動(dòng)態(tài)工作范圍。同時(shí)，當(dāng)壓力過(guò)大時(shí)，可動(dòng)極板會(huì)碰到下層玻璃完成過(guò)載保護(hù)。

搖擺中走絲，在TRANSDUCERS’11會(huì)議上，Evigia Systems公司提出了一種全新結(jié)構(gòu)的MEMS電容式壓力傳感器來(lái)同時(shí)獲得高靈敏度和大動(dòng)態(tài)范圍。研究人員將壓敏元件和電容的可動(dòng)極板進(jìn)行了去耦操作，即增加一個(gè)力敏薄膜來(lái)感知外界壓力變化，然后將壓敏薄膜通過(guò)一個(gè)中心軸與平行板電容式器的可動(dòng)極板進(jìn)行機(jī)械耦合從而實(shí)現(xiàn)小量程壓力測(cè)量。