線切割機型號規(guī)格，微系統(tǒng)在雷達方面得到了廣泛應用，在提高雷達性能的同時大幅縮小其重量和體積。2014年10月，美國“陸軍聯合陸上巡航導彈組網防御傳感器系統(tǒng)”（JLENS）系統(tǒng)通過關鍵里程碑測試，并于12月在美國馬里蘭州的阿伯丁地面試驗場正式部署，標志著由MEMS開關組成的雷達天線已經進入應用階段。

線切割機型號規(guī)格，JLENS上安裝了X波段的MEMS電掃描相控陣，該天線陣面積僅0.4平方米，使用了2.5萬只射頻 MEMS開關，實現了±60°電掃描角度，空中探測距離超過20千米。

線切割機型號規(guī)格，利用微系統(tǒng)技術可以制造體積非常小且具有一定功能的產品，在醫(yī)療植入、生命體征檢測等生物與健康領域取得了較大進展。DARPA與美國國立衛(wèi)生研究院研發(fā)了基于MEMS的“片上人體系統(tǒng)”，該項目基于MEMS技術開發(fā)微流體芯片來模擬人體的實際生理反應，目的是加速新藥物的研發(fā)速度和效率，并提供快速檢測不明物質毒性的方法。