新款中走絲，這4個設(shè)計參數(shù)之間不是彼此孤立的，而是相互聯(lián)系相互影響。單純利用改進傳感器結(jié)構(gòu)來提高小量程傳感器的輸出電容是有限的。如果電路靈敏度不高,則小電容信號很有可能湮沒在噪聲信號中。因此,對測量電路的優(yōu)化也是實現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程測壓必不可少的一步。

新款中走絲，大而薄的極板不僅使傳感器的初始電容C0增大，而且使可動極板在受到相同壓力時產(chǎn)生更大的形變，從而使傳感器的電容輸出值增大。但又大又薄的極板會導(dǎo)致器件的線性性能惡化，同時與MEMS微型化的設(shè)計理念相違背。而且，太薄的極板太脆易碎。

新款中走絲，極板間距的減小也可以顯著提高C0。但當極板間距很小時，傳感器的動態(tài)范圍不僅過窄，而且空腔內(nèi)任何微量氣體的存在都會影響傳感器性能，因此傳感器空腔的真空度必須非常高。